HORIBA, Волоконно-оптический бесконтактный монитор концентрации химикатов, CS-900F

Волоконно-оптический бесконтактный монитор концентрации химических растворов CS-900F для полупроводниковых процессов мокрой очистки — измерение через стенку PFA-трубопровода без контакта с жидкостью.

Преимущества CS-900F

• Бесконтактный метод — блок ячейки крепится на PFA-трубопровод снаружи, исключает утечки и загрязнение жидкости
• Блок ячейки на ~60% компактнее предыдущих моделей — меньше подверженность внешним помехам
• Расширенный диапазон длин волн (~в 3 раза шире) — поддержка большего числа химикатов полупроводниковых процессов
• Прямое измерение горячих растворов до 80 °C без охлаждения и пробоподготовки
• Интервал измерения ~5 с, скользящее среднее 16 точек — быстрая обратная связь для регулирования концентрации
• Срок службы источника света 5 лет, питание 24 В постоянного тока

Технические характеристики

Метод измерения	Абсорбционная спектроскопия + многомерный анализ с температурной компенсацией
Метод пробоотбора	Бесконтактный (через стенку PFA-трубопровода 1" или 3/4")
NH₃ (модель -1P25P5)	0,00–1,20 масс.%; ±0,05 масс.%
H₂O₂ (модель -1P25P5)	0,00–5,50 масс.%; ±0,10 масс.%
Температура пробы	20–80 °C
Интервал измерения	~5 с; скользящее среднее 16 точек
Оптоволоконный кабель	Стандарт 5 м; радиус изгиба R150 мм
Питание	24 В пост. тока, ~40 Вт
Срок службы источника света	5 лет