HORIBA, Кондуктометр для химического восстановления полупроводниковых процессов, HE-960LC
Бренд: Horiba
Артикул: HE-960LC
Наличие: под заказ
Описание
Панельный кондуктометр HE-960LC формата DIN 96×96 мм с проточными углеродными датчиками для мониторинга концентрации химикатов в полупроводниковых и FPD-процессах.
Преимущества HE-960LC
- Безметалловые проточные углеродные датчики — совместимы с агрессивными химикатами полупроводниковых процессов
- Диапазон до 10 000 мкСм/см с пользовательской функцией преобразования концентрации
- Прямой вывод концентрации химиката без пересчёта оператором
- Связь RS-485, питание 24 В пост. тока — совместим с инфраструктурой полупроводниковых производств
- Формат DIN 96×96 мм, компактная интеграция в щит управления
- Повторяемость ±0,5% ПШ во всех диапазонах
Характеристики
Технические характеристики
| Метод измерения | 2-электродный (проточный углеродный датчик) |
| Диапазон (0,1 /см) | 0–1000 мкСм/см |
| Диапазон (1,0 /см) | 0–10 000 мкСм/см |
| Повторяемость | ±0,5% ПШ |
| Повторяемость (температура) | ±0,5 °C |
| Связь | RS-485 |
| Питание | 24 В пост. тока |
| Габариты | 96×96×115 мм |